Maskesiz Litografi

Marka: Heidelberg

 

Model: μPG 101

 

Litografi, kelime anlamı olarak ışıkla yazma olarak tanımlanabilir. Litografi ışıkla yapıldığı gibi bir elektron demetini yönlendirerek maskesiz olarak da yapılabilir.

 

Mask Aligner ve Maskless Litografi Cihazları Kullanım Amaçları

 

*Mikro elektro mekanik sistem (MEMS) yapısının üretilmesi

*Lab-on-a-chip yapılarının oluşturulması

*Yüzey şekillendirme

*Mikroskobik elementlerin yapısal boyutlarını nanometre ölçeğine indirme

*Biyosensör geliştirilmesi

 

Nanoteknoloji ve biyonanoteknoloji alanlarında yaygın olarak kullanılmaktadır.